依據(jù)GB50472-2008《電子工業(yè)潔凈廠房設計規(guī)范》

12.3.4 潔凈廠房內(nèi)火災探測器的設置應符合下列規(guī)定：

　　1 潔凈生產(chǎn)區(qū)、技術夾層、機房、站房等均應設置火災探測器，其中潔凈生產(chǎn)區(qū)、技術夾層應設置智能型探測器；

　　2 當潔凈廠房防火分區(qū)面積超過現(xiàn)行 標準《建筑設計防火規(guī)范》GB 50016的規(guī)定時或頂部安裝點式探測器不能滿足現(xiàn)行規(guī)范設計要求時，在潔凈室(區(qū))內(nèi)凈化空調(diào)系統(tǒng)混入新風前的回風氣流中應設置靈敏度嚴于0.01% obs/m的早期煙霧報警探測器（編者注：即吸氣式感煙火災探測器）；

　　3 硅烷儲存、分配間(區(qū))，應設置紅外線-紫外線火焰探測器；

　　4 潔凈生產(chǎn)區(qū)、走道和技術夾層(不包括不通行的技術夾層)應設置手動報警按鈕和聲光報警裝置。

　　【條文說明】12.3.4 制定本條的依據(jù)是：

　　1電子工業(yè)潔凈廠房內(nèi)火災探測器選擇時，應充分考慮潔凈室(區(qū))的環(huán)境條件及房間構造特點，如高度、面積、空氣流向、流速、有無對火災探測器的干擾等，以及火災探測器的特性和技術指標。選用智能型探測器可比較可靠地探測火災。

　　2在一些芯片制造和第五代、六代以上液晶顯示器生產(chǎn)用潔凈廠房，潔凈生產(chǎn)區(qū)的面積較大，防火分區(qū)的面積大大超過現(xiàn)行 標準《建筑設計防火規(guī)范》GB 50016規(guī)定的更大 容許建筑面積，為強化消防設計技術措施，本條明確規(guī)定在潔凈室(區(qū))內(nèi)凈化空調(diào)系統(tǒng)混入新風前的回風氣流中，應設置高靈敏度的早期煙霧報警探測器，把著眼點放在不可見煙霧的探測，盡早發(fā)現(xiàn)火情，把火災消滅在萌發(fā)階段，為避免事態(tài)擴大爭取到更多的寶貴時間。據(jù)了解，近年來這類潔凈廠房均在回風氣流中安裝了高靈敏度早期報警火災探測器，雖然費用較高和安裝、維護要求嚴格，但仍然得到了用戶和消防部門的認可。

　　3在室溫下，硅烷是一種在空氣中可以自燃的氣體，硅烷一旦泄漏，很快燃燒，不產(chǎn)生煙霧。而紅外—紫外線(UV-IR)雙重掃描的火焰探測器，對硅烷產(chǎn)生的火災反應速度最快。故規(guī)定硅烷儲存、分配間(區(qū))應采用火焰探測器。

　　4潔凈室(區(qū))的上下技術夾層、靜壓箱有時是有操作人員在現(xiàn)場的，當這些區(qū)域發(fā)生火災時，為了 時間發(fā)出警報，便于人員疏散，應設置手動報警按鈕和聲光報警裝置。

12.3.6 潔凈廠房內(nèi)下列場所應設置氣體泄漏報警裝置：

　　1 易燃、易爆、有毒氣體的儲存分配間(區(qū))；

　　2 易燃、易爆、有毒氣體的氣瓶柜和分配閥門箱內(nèi)；

　　3 工藝設備的氣體分配箱和排風管內(nèi)。

　　【條文說明】1在一些電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中使用品種多樣的易燃、易爆、有毒氣體，如SiH4、SiH2Cl2、NH3、C4F6，AsH3、PH3、Cl2等。這些氣體一旦泄漏，將可能產(chǎn)生火災或爆炸、或危及操作人員安全、或?qū)υO備造成損害。因此，必須設置有效、安全、可靠的氣體探測和控制系統(tǒng)，避免、防止因氣體泄漏造成事故。氣體探測器按原理分，有電化學式、化學紙帶式、紅外技術和固態(tài)金屬氧化物技術等；按采樣方式分，有泵吸式和擴散式。應根據(jù)所監(jiān)測的氣體物化特性和使用環(huán)境特點合理選用。

　　2因在各種氣體的輸送管道和特種氣體的氣瓶柜、分配閥門箱內(nèi)的氣瓶閥、減壓閥、分配閥、切換閥等的連接處容易產(chǎn)生氣體泄漏，在特氣柜更換氣瓶時因操作不當閥門未關緊，管道接口、閥門受腐蝕或連接不牢固等原因，易產(chǎn)生氣體泄漏。因此，在這些易發(fā)生泄漏的場所，沿程管道的閥門或接頭易泄漏處和氣瓶柜、分配閥門箱內(nèi)均應設置檢測點。氣瓶柜、分配閥門箱均設有強制排風系統(tǒng)，如有氣體泄漏時，泄漏的氣體大部分被吸入到排風管內(nèi)，所以應將采樣點設置在排風管口處。

　　3氣體泄漏報警裝置報警后，為了及時切斷相應氣體的氣源，防止繼續(xù)泄漏，造成著火、爆炸事故，應自動聯(lián)鎖相應氣體輸送管道的進氣閥門。

　　4美國消防協(xié)會發(fā)布的NFPA 318《潔凈室消防標準》，第6.6.1條規(guī)定：易燃或有毒氣體在使用中，應設置于配有排氣通風的柜內(nèi)，柜內(nèi)應設置氣體監(jiān)測報警和自動切斷氣體供應設施。第6.6.3條規(guī)定：在可能有易燃、有毒氣體泄漏的場所、閥門或裝配件或接頭處，應設置氣體報警和排氣通風設施，一旦報警時，應能切斷氣源。第6.6.5條規(guī)定：對可能發(fā)生易燃氣體泄漏的場所，設置爆炸下限20％的報警裝置。以上各條要求是制定本條規(guī)定的主要依據(jù)。